VÁKUOVÉ VENTILY – TESNÉ VÁKUOVÉ VENTILY PRE PODTLAKOVÉ SYSTÉMY
 
Vákuové ventily predstavujú špecializované armatúry určené na uzatváranie, otváranie alebo reguláciu prúdenia plynov vo vákuových technologických systémoch. Využívajú ich vo vákuovej technike, polovodičovom priemysle, výskumných zariadeniach, povlakovacích technológiách, sušiacich procesoch aj pri manipulácii s materiálmi. Vákuové ventily musia zabezpečovať vysokú tesnosť, pretože aj malé netesnosti môžu ovplyvniť dosiahnuteľný tlak a stabilitu procesu.
 
Podľa konštrukcie používajú rohové, priamoprietokové, šupátkové, klapkové, membránové alebo ďalšie vyhotovenia. Výber závisí od požadovaného rozsahu tlakov, priemeru potrubia, vodivosti prietokovej cesty a charakteru technologického procesu. Vákuové ventily navrhujú tak, aby v otvorenej polohe vytvárali čo najmenší odpor prúdeniu plynu a súčasne v zatvorenom stave spoľahlivo oddeľovali jednotlivé časti systému.
 
Tesnosť zabezpečujú elastomérovými alebo kovovými tesniacimi prvkami podľa požadovanej úrovne vákua a prevádzkovej teploty. Pri vysokom a ultravysokom vákuu používajú materiály s nízkym odplyňovaním a konštrukcie obmedzujúce vznik virtuálnych netesností. Vákuové ventily vyrábajú najmä z nehrdzavejúcej ocele, hliníkových zliatin alebo ďalších materiálov vhodných pre príslušné procesné podmienky.
 
Pri návrhu zohľadňujú aj molekulárnu vodivosť, čistotu vnútorných povrchov a kompatibilitu s prepravovanými plynmi. Vo vákuových systémoch môže nevhodne dimenzovaný ventil obmedzovať efektívny čerpací výkon vývevy a predlžovať čas potrebný na dosiahnutie požadovaného tlaku. Vákuové ventily preto vyberajú v súvislosti s priemerom potrubia, objemom komory, typom vývevy a pracovným tlakovým rozsahom.
 
Ovládanie môže byť manuálne, pneumatické alebo elektrické. Automatizované vákuové ventily vybavujú snímačmi polohy a prepájajú ich s riadiacimi systémami, ktoré koordinujú čerpanie, zavzdušňovanie a jednotlivé fázy technologického procesu. Pri strate napájania môžu podľa aplikácie využívať definovanú bezpečnostnú polohu, ktorá pomáha chrániť vákuovú komoru, vývevu alebo spracovávaný produkt.
 
Vákuové ventily môžu plniť aj regulačnú funkciu, pri ktorej presnou zmenou prietokového prierezu udržiavajú požadovaný tlak v procesnej komore. Takéto riešenie využívajú napríklad pri nanášaní tenkých vrstiev a ďalších procesoch vyžadujúcich stabilné vákuové podmienky. Správna voľba konštrukcie, tesnenia a spôsobu ovládania ovplyvňuje tesnosť, čerpací čas aj dlhodobú spoľahlivosť celého vákuového systému.